等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態。根據狀態、溫度和離子密度，等離子體通常可以分為高溫等離子體和低溫等離子體（包子體和冷等離子體）。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度(Te)&ge；離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K。
廢氣處理設備的組成和設計原則以及種類
廢氣處理設備是工業中進行廢氣處理必不可少的一種設備，廢氣處理設備憑借著其外箱結構一體化的個性設計，加以優質鈑金烤漆工藝，能夠實現高強度、抗沖擊性好的突出性能。
廢氣處理設備的組成：
1、有機廢氣的焚燒設備
利用適量的空氣將廢氣中的雜質進行焚燒，產生大量的二氧化碳和水蒸氣，，這樣便可以解決了具有高濃度的VOCs氣體的處理問題。
2、接收裝置
接收裝置主要是靠廢氣與VOCs之間的不溶解性實現廢氣的排除。首先，含有的氣體進入到廢氣處理成套設備的內部，在廢氣回升的過程中與已有的氣體接觸，通過VOCs的不溶解性，將廢氣從廢氣處理設備的頂部排除。
3、光催化設備
光催化設備可將有機物轉化成無毒害產品。將半導體用作為光催化劑，利用天然的光能，對廢氣處理設備中的廢氣進行光能的處理，對有用資源進行循環利用，無用的廢氣經過光能的處理后降低了污染并排入到空氣中。
4、吸附裝置
進入到處理設備的某些氣體會因特定的成分被附著在設備的內部，通過吸附的反復作用，實現廢氣在設備中的反復再生，并最終達到清除廢氣中傳染物并接收管中有效氣體的過程。
廢氣處理設備的種類：
1、吸收設備
吸收法采用低揮發或不揮發性溶劑對VOCs進行吸收，再利用VOCs和吸收劑物理性質的差異進行分離。含VOCs的氣體自吸收塔底部進入塔內，在上升過程中與來自塔頂的吸收劑逆流接觸，凈化后的氣體由塔頂排出。吸收了VOCs的吸收劑通過熱交換器后，進入汽提塔頂部，在溫度高于吸收溫度或壓力低于吸收壓力的條件下解吸。解吸后的吸收劑經過溶劑冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs氣體經過冷凝器、氣液分離器后以較純的VOCs氣體離開汽提塔，被回收利用。該工藝適合于VOCs濃度較高、溫度較低的氣體凈化，其他情況下需要作相應的工藝調整。
2、吸附設備
在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質，多孔固體物質稱為吸附劑固體表面吸附了吸附質后，一部被吸附的吸附質可從吸附劑表面脫離，此現附。而當吸附進行一段時間后，由于表面吸附質的濃集，使其吸附能力明顯下降而吸附凈化的要求，此時需要采用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附，以協的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的再生。因此在實際吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循環過程，達到除去廢氣中污染物質并回收廢氣中有用組分。
3、有機廢氣的燃燒及催化凈化設備
燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。
4、工業有機廢氣的低溫等離子體的低溫等離子凈化設備。
廢氣處理設備設計原則：
1、廢氣處理設備運行條件
根據廢氣的性質(粘度、溫度、濕度、壓力、可燃性、毒性、穩定性和氣體種類等)設計安全可靠的廢氣處理裝置；
2、廢氣處理達標效率
根據國家頒布的排放標準及污染源排放的廢氣濃度，選擇高效的設備類型，如果一臺設備不能滿足要求則需要多臺設備進行多級處理；
3、經濟性
主要考慮設備的制造、安裝、運行和維護費用以及廢氣達標處理問題，不得造成二次污染；
4、占地面積及空間的大小
根據工程現場狀況，合理布置廢氣處理工藝流程和設計設備類型；
5、設備操作要求及使用壽命
要求設備結構簡單，操作方便，便于更換吸收劑、吸附劑或催化劑等；
6、其他因素
如處理有毒、易燃易爆的氣體應注意廢氣處理設備的防泄漏、防爆等安全措施。
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